이종철(전자융합공학) 교수 및 김남영(전자공학) 교수 연구팀,

Multilayer GaAs IPD Resonator 개발

- 2024 JCR Q1, IF=3.4 Micromachines 저널 vol. 15, 3월호 Cover Paper 게재-

광운대학교 이종철(전자융합공학과) 교수 연구팀과 김남영(전자공학과) 교수 연구팀은 공동 연구를 통해 ‘센서 시스템에 응용 가능한 5개의 airbridge를 갖는 Multilayered GaAs IPD Resonator’ 개발에 성공했다고 밝혔다.

(사진 왼쪽부터 이종철 교수, 김남영 교수, Micromachines저널)

이 연구는 SCI급 국제저널인 Micromachines의 2024년 3월호 Cover Paper로 게재될 만큼 그 성과를 널리 인정받고 있다. 해당 저널을 확인할 수 있는 링크는 다음과 같다. https://www.mdpi.com/2072-666X/15/3/367

이 연구는 GaAs 기판 위에 IPD 공정을 통해 Ring Resonator를 다층 스파이럴 인덕터와 Airbridge를 사용해 집적하였으며 1.99 GHz의 공진 주파수와 0.07dB의 삽입 손실, 그리고 39dB의 반사 손실을 갖고, 1.15의 Q값을 갖는다.

IPD Resonator 센서는 글루코스(glucose)를 검출하기 위해 사용되었고, 0.2mg/mL의 적은 양으로도 측정 가능한 높은 Sensitivity를 증명하여 집적 시스템, 실시간 센싱 작업에서 높은 Sensitivity를 얻을 수 있는 가능성을 보여주었다고 평가받고 있다.